کوارٹج ویفر سبسٹریٹ

کوارٹج ویفر سبسٹریٹ

کوارٹز ویفر سبسٹریٹس بنیادی طور پر ہائی-پیوریٹی کوارٹز (SiO₂) سے بنے ویفرز ہیں، جو وسیع پیمانے پر سیمی کنڈکٹرز، آپٹو الیکٹرانکس، مائیکرو-الیکٹرو مکینیکل سسٹمز (MEMS)، آپٹیکل ڈیوائسز اور دیگر شعبوں میں استعمال ہوتے ہیں۔

تصریح

مادی خصوصیات

 

  • اعلی طہارت:عام طور پر مصنوعی کوارٹز (مثلاً فیوزڈ سلیکا) سے بنایا جاتا ہے، جس میں انتہائی اعلیٰ طہارت (99.99٪ سے زیادہ یا اس کے برابر) اور آلہ کی کارکردگی کو متاثر کرنے سے بچنے کے لیے کم سے کم نجاست ہوتی ہے۔
  • تھرمل استحکام:تھرمل توسیع کا کم گتانک (≈0.55×10⁻⁶/ ڈگری) اور اعلی-درجہ حرارت کی مزاحمت (نرم نقطہ ~1600 ڈگری)، اعلی-درجہ حرارت کے عمل کے لیے موزوں ہے۔
  • آپٹیکل کارکردگی:براڈ ٹرانسمیشن رینج (UV سے IR)، غیر معمولی UV ٹرانسمیشن کے ساتھ، فوٹو ماسکس، لینز وغیرہ کے لیے مثالی۔
  • کیمیائی جڑت:تیزاب اور الکلیس (ہائیڈرو فلورک ایسڈ کے علاوہ) کے خلاف مزاحم، گیلے اینچنگ کے عمل کے لیے موزوں۔
  • برقی موصلیت:High resistivity (>10¹⁶ Ω·cm)، سبسٹریٹس یا اعلی-فریکوئنسی والے آلات کے لیے مثالی۔

 

ایپلی کیشنز

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

- فوٹو ماسک سبسٹریٹس

- EUV لتھوگرافی کے اجزاء

- ویفر پروسیسنگ کیریئرز

فوٹوونکس اور آپٹو الیکٹرانکس

- آپٹیکل ویو گائیڈ سبسٹریٹس

- لیزر ڈائیوڈ ماؤنٹنگ

- کوانٹم کمپیوٹنگ اجزاء

خصوصی ایپلی کیشنز

- MEMS ریزونیٹر بیسز

- خلائی دوربین آپٹکس

- ہائی-انرجی لیزر سسٹم

 

مینوفیکچرنگ کا عمل

 

  • خام مال کی ترکیب:بخارات جمع کرنے (مثال کے طور پر، SiCl₄ آکسیکرن) یا قدرتی کوارٹج کو صاف کرنے کے ذریعے تیار کیا جاتا ہے۔
  • پگھلنا اور تشکیل دینا:اعلی-درجہ حرارت پگھلنا جس کے بعد انگوٹوں میں ٹھنڈا ہونا یا سلاخوں میں براہ راست ڈرائنگ۔
  • کاٹنا:ڈائمنڈ وائر آری یا لیزر کٹنگ کا استعمال کرتے ہوئے پتلی ویفرز میں کاٹا جاتا ہے۔
  • پیسنے اور پالش کرنا:کیمیکل مکینیکل پالشنگ (CMP) نینو میٹر-سطح کی ہمواری حاصل کرتی ہے۔
  • صفائی اور معائنہ:ذرات اور دھاتی آلودگیوں کو ہٹانا، اس کے بعد خرابی اور پیرامیٹر کی جانچ۔

 

پراپرٹیز

 

فزیکل پراپرٹیز

اقدار

طہارت

>99.99%

کثافت

2.2 گرام/سینٹی میٹر3

شفافیت

>90%

محس سختی

5.5--6.5

ڈیفارمیشن پوائنٹ

1280 ڈگری

نرمی کا نقطہ

1750 ڈگری

اینیلنگ پوائنٹ

1250 ڈگری

مخصوص حرارت (20 - 350 ڈگری)

670J/kg ڈگری

تھرمل چالکتا (20 ڈگری)

1.4W/m ڈگری

حرارت کی چالکتا (w/mk، 1000 ڈگری)

1.0-1.2

ریفریکٹیو انڈیکس

1.4585

تھرمل توسیع کا گتانک

5.510 -7سینٹی میٹر/سینٹی میٹر ڈگری

گرم - کام کرنے کا درجہ حرارت

1750--2050 ڈگری

مختصر - سروس کا درجہ حرارت

1450 ڈگری

طویل مدتی سروس کا درجہ حرارت -

1100 ڈگری

 

کیمیائی خواص

اقدار

تیزاب مزاحم

مضبوط تیزاب (HF کے علاوہ)، مضبوط الکلی، نامیاتی حل

اعلی درجہ حرارت سنکنرن مزاحم

بہترین

دھاتی ناپاکی کا مواد

~5 پی پی ایم

 

الیکٹریکل پراپرٹیز

اقدار

مزاحمتی صلاحیت

7107Ω.cm

موصلیت کی طاقت

250~400Kv/cm

ڈائی الیکٹرک مستقل

3.7~3.9

ڈائی الیکٹرک جذب گتانک

<410-4

ڈائی الیکٹرک نقصان کا گتانک

<110-4

 

مکینیکل پراپرٹیز

اقدار

دبانے والی طاقت

1100MPa

موڑنے کی طاقت

67MPa

تناؤ کی طاقت

48MPa

پوسن کا تناسب

0.14~0.17

ینگ کا ماڈیولس

72000MPa

شیئر ماڈیولس

31000MPa

 

اکثر پوچھے گئے سوالات

Q1: زیادہ سے زیادہ کوارٹج ویفر سبسٹریٹس کا سائز دستیاب ہے؟

A: معیاری پیداوار 300 ملی میٹر قطر تک، R&D کے لیے 450 ملی میٹر پروٹو ٹائپ دستیاب ہے۔

Q2: کیا آپ اپنی مرضی کے مطابق موٹائی پروفائلز فراہم کر سکتے ہیں؟

A: ہاں - ہم پیدا کر سکتے ہیں:
- ویجڈ ویفرز (لیزر ایپلی کیشنز کے لیے)
- عین مطابق ٹیپرڈ ڈیزائن
- میسا-ساختہ سطحیں۔

Q3: آپ کون سا صفائی پروٹوکول تجویز کرتے ہیں؟

A: معیاری RCA صاف عمل:
1. نامیاتی ہٹانا (H₂SO₄:H₂O₂)
2. آئنک صفائی (HCl:H₂O₂)
3. HF-ہائیڈرو فیلک سطح کے لیے آخری

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: کوارٹج ویفر سبسٹریٹ، چین کوارٹج ویفر سبسٹریٹ مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری

شاید آپ یہ بھی پسند کریں

شاپنگ بیگز